| 項(xiàng)目 | 說(shuō)明 | |
| 放電 | 類(lèi)型 | 磁控二極管放電型（電場(chǎng)垂直于磁場(chǎng)） |
| 電極組成 | 反向平行盤(pán)（嵌入磁鐵） | |
| 電壓 | 最大0.4Kv DC（直流可變） | |
| 電流 | 最大40mA DC | |
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噴鍍速率(最大）[條件] 壓力：7Pa 放電電流:40mA 標(biāo)靶與樣品表面之間的距離:20mm |
Pt靶(選配件) | 15nm/min |
| Pt-Pd靶（選配件） | 20nm/min | |
| Au靶(選配件) | 35nm/min | |
| Au-Pd靶（選配件） | 25nm/min | |
| 樣品尺寸 | 最大直徑 | Ф60mm |
| 最大高度 | 20mm | |
| 機(jī)械泵 | 135/162 L/min(50/60Hz) | |
| 靶材﹡² | Pt, Pt-Pd (8: 2), Au, Au-Pd(6: 4) | |
| 電源要求 | 單相,100VAC(±10%)15A(50/60Hz)3-針插頭線纜(3m) | |
| 尺寸 | 寬度 | 450mm |
| 長(zhǎng)度 | 391mm | |
| 高度 | 390mm | |
| 重量 | 主機(jī):約25Kg 機(jī)械泵:約28kg | |
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﹡¹：噴鍍速率僅供參考 ﹡²：主機(jī)內(nèi)不包括靶材。請(qǐng)從選項(xiàng)中選擇（鉑,鉑-鈀,金,金-鈀) |
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