|
型號 |
YSP63FA |
|
模式 |
RIE（DP模式選購） |
|
高頻輸功率 |
600W |
|
反應(yīng)臺尺寸 |
W385×D362mm |
|
內(nèi)腔尺寸 |
W395×D378×H45mm（內(nèi)尺寸） |
|
反應(yīng)氣體 |
2進氣系統(tǒng)（氧氣、氬氣） |
|
反應(yīng)氣體流量控制 |
質(zhì)量流量控制器 |
|
真空泵 |
旋轉(zhuǎn)式真空泵（約500L/min） |
|
氣體導(dǎo)入口 |
反應(yīng)氣體2個、填充氣體1個、空氣1個 |
|
外形尺寸 |
W1860×D1100×H1800mm |
微信掃碼 關(guān)注我們
Copyright © 2018-2022 柜谷科技發(fā)展（上海）有限公司 版權(quán)所有 地址：上海市浦東新區(qū)曹路鎮(zhèn)金海路2588號B217室 備案號：滬ICP備19046444號-1
