|
型號(hào) |
YSP600U |
YSP2KU |
|
模式 |
RIE（DP模式選購(gòu)） |
|
|
高頻輸功率 |
600W |
2000W |
|
反應(yīng)臺(tái)尺寸 |
W300×D300mm |
W600×D600mm |
|
反應(yīng)氣體 |
2進(jìn)氣系統(tǒng)（氧氣、氬氣） |
|
|
反應(yīng)氣體流量控制 |
質(zhì)量流量控制器 |
|
|
氣體導(dǎo)入口 |
反應(yīng)氣體2個(gè)、填充氣體1個(gè)、空氣1個(gè) |
|
微信掃碼 關(guān)注我們
Copyright © 2018-2022 柜谷科技發(fā)展（上海）有限公司 版權(quán)所有 地址：上海市浦東新區(qū)曹路鎮(zhèn)金海路2588號(hào)B217室 備案號(hào)：滬ICP備19046444號(hào)-1
